Fördelar med torr etsning med en pulserad strömförsörjning?

Vilka är fördelarna med pulsläge jämfört med kontinuerligt vågkraftsläge? Vad är pulserade kontra kontinuerliga vågkraftlägen?

Som visas i figuren ovan är den första CW, kontinuerlig våg. Kontinuerlig våg (CW) hänvisar till en vågform som är kontinuerlig och konstant i tid, med konstant kraft och intensitet. Det visas vanligtvis som en enkelfrekvenssignal med ett smalt spektrum och en stabil utgång. CW: s genomsnittliga kraft är lika med toppeffekten, och signalegenskaperna är enkla och enkla att kontrollera. Den största fördelen med CW är dess höga stabilitet, vilket gör den idealisk för applikationer där signalkontinuiteten är kritisk. Samtidigt har CW -signalen en låg ljudnivå, vilket underlättar exakt mätning och analys. Dessutom är CW -systemdesignen relativt enkel och kontrollparametrar som kraft och frekvens kan enkelt justeras. I CW -läge är effektutgången en kontinuerlig vågform utan hackiga pulser.

0040-31980 Gasbox EC WXZ

Den andra är PW, pulserad kraft. En pulsvåg är en vågform som avbryts i tid och består av en serie signaler med hög intensitet under en kort tid. Pulserna är av begränsad varaktighet och upprepas efter en viss tid. Pulsvågen har egenskaperna hos omedelbar toppeffekt mycket högre än medeleffekten, och utgångsspektrumet är brett och innehåller fler frekvenskomponenter. Den största fördelen med pulsvågen är dess omedelbara höga toppeffekt, som kan släppa extremt hög energi på kort tid. På grund av signalens intermittenta utgång är dessutom den genomsnittliga kraften för pulsvågen låg, vilket effektivt minskar utrustningens värmelastningstryck. Som ett resultat är det idealiskt för applikationer som kräver hög temporär upplösning eller omedelbar hög effekt. I PW -läge är strömförsörjningen av strömförsörjningen utanför tiden och på en del av tiden.

0040-09095 Gasbox, WCVD
Funktioner i pulserade kraftförsörjningar?
1, intervallarbetet kan sprida värmen i tid, så att reaktanterna kan ha tid att transportera till skivytan.

2 kan utgångseffekten ökas i mycket stor utsträckning, varaktigheten är extremt kort och pulseffekten, frekvensen, tiden etc. kan kontrolleras mycket exakt.
Fördelar med att använda pulsläge?
1, eliminera mikrolasteffekter. Vid strukturell etsning med höga aspektförhållanden, såsom djupa hål eller djupa spår. Hål med mindre storlekar eller spår har en mindre etsningshastighet än hål med större storlekar eller spår. Om CW -läget används kan Microload -effekten förbättras genom att minska trycket och öka förspänningsspänningen, men förmågan att förbättra är begränsad, medan mikrolastningseffekten kan förbättras kraftigt genom att använda pulsläget.

2, minskar skivans ytor. Om pulser används på en förspänningstillförsel kan den tid det tar för plasma att attackera skivan minskas, vilket i sin tur minskar ytskador.