Förvakuumtransportören (lastlås) och överföringsplattformens huvuddel

Förvakuumtransportören är en överföringskammare för atmosfären och vakuum, som används för att isolera reaktionskammaren från direkt kontakt med den yttre atmosfären, för att säkerställa reaktionskammarens renhet och minska sannolikheten för kontaminering av reaktionen kammare. När frontmodulen behöver plocka upp och placera skivan till förvakuumtransportören, måste den fyllas med kväve, lufttrycket i kaviteten justeras till atmosfäriskt tillstånd, och sedan transmissionsventilen för pre- -vakuumtransportören på sidan av frontmodulen öppnas för att plocka och placera skivan; När du plockar upp och placerar wafers från överföringskammaren (en del av överföringsplattformen) till förvakuumöverföringskroppen, är det nödvändigt att använda en vakuumpump för att pumpa ut gasen i förvakuumöverföringskroppen, anpassa till vakuumet tillstånd och öppna sedan överföringsventilen på andra sidan av förvakuumöverföringskroppen och utför sedan wafer pick-and-place.

De specifika stegen för wafern som ska transporteras i överföringssystemet är följande: alla dörrar är stängda → waferladdningsporten öppnas, dörren på waferkassetten öppnas→ den atmosfäriska manipulatorn griper wafern från waferbåten på kassetten → wafern placeras på aligner→ waferns position är kalibrerad→ kvävgas fylls i LoadLockA→ dörren till LoadLockA öppnas→ den atmosfäriska manipulatorn placerar wafern i LoadLockA→ stänger dörren till LoadLockA→ LoadLockA vakuum → öppnar dörren till reaktionskammaren → Den tomma manipulatorn sätter skivan i reaktionskammaren→ reaktionen äger rum→ efter att reaktionen är avslutad dammsugs reaktionskammaren→ dörren till överföringskammaren öppnas→ vakuummanipulatorn flyttar skivan till överföringskammaren→ stänger dörren till reaktionskammaren→ öppnar dörren till LoadLockB, → vakuummanipulatorn flyttar wafern till LoadLockB→ stänger dörren till LoadLockB→ LoadLockB är fylld med kväve → öppnar dörren till LoadLockB→ Atmosfärisk manipulator flyttar skivan ut ur LoadLockB → stänger LoadLockB